中國電子工程設計院  秦學禮

　　摘要

　　隨著IC生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)工藝技術的不斷發(fa)展,對于(yu)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)環境及(ji)(ji)(ji)其(qi)它配套系(xi)統要求(qiu)也相(xiang)應(ying)更為嚴格,本文81"、12",IC生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)的無塵(chen)車(che)間設計中有(you)關無塵(chen)車(che)間形式和(he)(he)送風方(fang)(fang)式、空氣處理及(ji)(ji)(ji)溫濕度(du)保證措(cuo)施,懸浮分(fen)子(zi)污染物(AMC)的控制,以及(ji)(ji)(ji)無塵(chen)車(che)間排煙等方(fang)(fang)面的設計方(fang)(fang)案,進行了多方(fang)(fang)案的綜合分(fen)析和(he)(he)評價。

　　引言

　　集成電路(IC)是集多(duo)種高新(xin)技術(shu)于一體的高科技產(chan)品，它幾乎存在(zai)于所有工業(ye)部門，對國(guo)民(min)經(jing)濟(ji)的發(fa)(fa)展起著(zhu)“倍增器”的作(zuo)用，因此被 國(guo)家作(zuo)為戰略性(xing)產(chan)業(ye)。同時IC產(chan)業(ye)也是當今世(shi)界(jie)上發(fa)(fa)展最為迅速、競(jing)爭最為激(ji)烈的產(chan)業(ye)。由于下游產(chan)品的需(xu)要以及生產(chan)成本的考慮(lv)，IC不斷(duan)朝(chao)著(zhu)特征尺寸(cun)縮小，硅片直徑增大(da)的方向發(fa)(fa)展。目前 上以8”、0.25-0.18微米為代表的工藝已進入(ru)大(da)生產(chan)，以12”、0.15-0.13微米為代表的工藝也開始進入(ru)大(da)生產(chan)，研究工作(zuo)已進入(ru)納米階段，70納米、40納米的器件已在(zai)實驗室中(zhong)制備成功。

　　隨著工藝(yi)牛產(chan)技術的(de)(de)不斷發展，IC生(sheng)產(chan)對(dui)于環境(jing)及其(qi)他(ta)配套系(xi)統(tong)(tong)的(de)(de)要求也相應越(yue)來越(yue)嚴格(ge)，說到環境(jing)首當(dang)其(qi)沖的(de)(de)是無塵車間，8”、12”IC生(sheng)產(chan)無論對(dui)潔凈度(du)、溫(wen)濕度(du)還是空氣中分子級污染物(AMC)、防微振(zhen)、防靜電等都有極(ji)嚴格(ge)的(de)(de)要求，有些(xie)苛刻的(de)(de)要求甚至使某些(xie)傳統(tong)(tong)的(de)(de)做法(fa)受(shou)到挑戰。

　　1、無塵車間形式

　　1.1無塵車間從(cong)平面布置(zhi)劃(hua)分(fen)一般(ban)有(you)三種形式：即(ji)開放式(ballroomtype)、港灣式(baycliasetype)、島(dao)形布置(zhi)（islandtype），如圖1、2、3。

　　以(yi)(yi)上三(san)種形式無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)各有其優(you)缺點,IC前工(gong)(gong)序生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)廠通(tong)常采用(yong)港(gang)灣式和(he)開(kai)(kai)放(fang)式無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)，港(gang)灣式無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)在(zai)5”、6”IC生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)廠用(yong)得較多，其工(gong)(gong)藝(yi)(yi)設備(bei)為(wei)(wei)穿(chuan)墻(qiang)式：而8”、12”IC生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)廠則普遍采用(yong)開(kai)(kai)放(fang)式無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)加微環境(mini-environment)的(de)方式。開(kai)(kai)放(fang)式無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)顯著的(de)優(you)點首先(xian)是對工(gong)(gong)藝(yi)(yi)布(bu)置(zhi)帶來最大(da)的(de)靈活性(xing)，這尤為(wei)(wei)重要(yao)，因為(wei)(wei)當今[C生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)技術(shu)發(fa)展極為(wei)(wei)迅速，不(bu)論產(chan)(chan)品本身要(yao)求(qiu)還(huan)是工(gong)(gong)藝(yi)(yi)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)過(guo)程和(he)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)設備(bei)都(dou)處在(zai)不(bu)斷(duan)變化中(zhong)，而IC生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)工(gong)(gong)廠的(de)建設周期(qi)從開(kai)(kai)始設計到(dao)安裝工(gong)(gong)藝(yi)(yi)設備(bei)通(tong)常需要(yao)一(yi)年半左右的(de)時間(jian)(jian)(jian)(jian)，在(zai)這段時間(jian)(jian)(jian)(jian)內丁藝(yi)(yi)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)技術(shu)以(yi)(yi)及(ji)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)沒備(bei)需要(yao)不(bu)斷(duan)的(de)調(diao)整和(he)更(geng)新，只有

　　這樣才可(ke)以保證(zheng)投產(chan)(chan)時其(qi)生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)技術(shu)小會(hui)處(chu)于落后的窘地，即使(shi)投產(chan)(chan)以后，也會(hui)因產(chan)(chan)品(pin)(pin)(pin)、市場及生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)技術(shu)等因素的變化而需要(yao)對(dui)(dui)生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)線進行改造(zao)以調整產(chan)(chan)品(pin)(pin)(pin)和產(chan)(chan)能(neng)。其(qi)次8”、12”IC生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)對(dui)(dui)環境(jing)尤其(qi)是(shi)潔凈(jing)(jing)度(du)(du)(du)耍(shua)求(qiu)(qiu)(qiu)極(ji)為嚴(yan)格(ge)，通常硅片(pian)暴露區（加工(gong)過程）要(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)1.5級（209E，O.lμm，1級）．采用開放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)加微(wei)環境(jing)方(fang)式(shi)(shi)再(zai)配(pei)套(tao)自(zi)動物料處(chu)理系統automatedmaterialhandlingsystem.AMHS)，一方(fang)面口可(ke)以使(shi)操作(zuo)人員和其(qi)他污染源(yuan)與硅片(pian)完(wan)全隔(ge)離，另一方(fang)面生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)自(zi)動化程度(du)(du)(du)的提高對(dui)(dui)提高硅片(pian)成品(pin)(pin)(pin)率極(ji)為有(you)利(li)。開放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)加微(wei)環境(jing)方(fang)式(shi)(shi)，工(gong)藝生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)只(zhi)要(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)微(wei)環境(jing)內(nei)有(you)很嚴(yan)格(ge)的潔凈(jing)(jing)度(du)(du)(du)，而開放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)只(zhi)需保證(zheng)5-6級，這樣嚴(yan)格(ge)要(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)的潔凈(jing)(jing)度(du)(du)(du)區域大(da)大(da)減少(shao)，保證(zheng)潔凈(jing)(jing)度(du)(du)(du)所需的循環空(kong)氣量(liang)也相(xiang)應減少(shao)，能(neng)耗大(da)大(da)降(jiang)低，通常情況下(xia)開放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)加微(wei)環境(jing)方(fang)式(shi)(shi)其(qi)維(wei)持潔凈(jing)(jing)度(du)(du)(du)所需的能(neng)耗大(da)約僅為港灣式(shi)(shi)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)的1/3[]。實際工(gong)程中微(wei)環境(jing)是(shi)由(you)設備自(zi)帶的和開放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)完(wan)全脫開，再(zai)加上開放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)本身(shen)結構簡單(dan)，動力設備減少(shao)，這樣無(wu)論從設計(ji)到建(jian)(jian)造(zao)都(dou)變得簡單(dan)快捷，可(ke)以縮短(duan)建(jian)(jian)造(zao)時間(jian)(jian)。

　　采用開放式無塵車間加微環境方式，確(que)保硅(gui)片加工過程所需(xu)的潔凈度的關鍵區域(yu)是微環境，微環境通常(chang)如圖(tu)4、圖(tu)5所示(shi)。

　　圖4所示的微環境的送風是由無塵車間送風系統提供，其缺點是不靈活，移動或增加工藝設備不方便。目前8”、12”IC生產線所用的微環境基本上是圖5的形式（光刻機除外），微環境全部由工藝設備自帶，與工藝設備緊密結合在一起，并且與裝載臺、前開口傳遞盒(frontopeningunifiedpods．FOUP)、吊掛傳輸系統(ovcerheadhoisttransport，OHT)有機結合。微環境系統的風機直接吸室內的空氣，經ULP過濾器處理后垂直下吹，以保證硅片暴露區嚴格的潔凈度要求。微環境內的送風斷面風速通常保持在0.2-0.45m/s，并保證過濾器出口斷面上任意一點的風速不超過平均風速的±20%，過高的風速會使微環境的溫度偏高。微環境的風機應為變頻風機以適應過濾器的阻力變化，所用過濾器的效率≥99.99995%(MPPS)。為避免周圍“臟”空氣滲入微環境，微環境相對于周圍環境（開放式無塵車間）應保持不低于1.25Pa的正壓，這可以通過調節底部的回風閥門實現。8”、12”IC生產對防微振要求極高，而微環境所用的風機緊靠生產設備，所以風機與設備問應設有效減振措施，并且風機本身產生的振動在3-100Hz頻段內任意一個頻率點的振動位移幅值≤1.25μm。

　　1.2、無塵車間從送風(feng)系(xi)統(tong)方式(shi)劃(hua)分一般也有三(san)種形式(shi)：即集中送風(feng)系(xi)統(tong)(centralsystem)、隧(sui)道系(xi)統(tong)(tunnelsysterm、FFU系(xi)統(tong)(fanfilterunitsystem)，如圖6、7、8。

這三種送(song)風系(xi)統(tong)各(ge)有(you)特點，從(cong)不(bu)同的(de)(de)(de)角(jiao)度比較會得出不(bu)同的(de)(de)(de)結論，所以不(bu)能簡單地說孰(shu)優孰(shu)劣，送(song)風系(xi)統(tong)方式的(de)(de)(de)采(cai)用(yong)主(zhu)(zhu)要(yao)取決于(yu)業(ye)主(zhu)(zhu)、設(she)計(ji)人員(yuan)的(de)(de)(de)關注點側重于(yu)哪些(xie)方面(mian)。不(bu)過FFU系(xi)統(tong)近幾(ji)年來(lai)得到越來(lai)越廣泛的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)，尤其是(shi)在(zai)亞太地區。國(guo)內也不(bu)例外，已建的(de)(de)(de)和在(zai)建的(de)(de)(de)8”、12”IC生(sheng)產(chan)(chan)廠房幾(ji)乎都采(cai)用(yong)FFU系(xi)統(tong)，很多(duo)5”、6”IC生(sheng)產(chan)(chan)廠房近幾(ji)年也采(cai)用(yong)FFU系(xi)統(tong)。究其原(yuan)因(yin)(yin)，除了習(xi)慣、經驗等非(fei)技術性因(yin)(yin)素之外，不(bu)外乎有(you)以下幾(ji)個原(yuan)因(yin)(yin)：

　　a)靈(ling)(ling)活(huo)性(xing)(xing)：在三(san)種系(xi)(xi)統(tong)中，FFU系(xi)(xi)統(tong)的(de)靈(ling)(ling)活(huo)性(xing)(xing)是 的(de)，這點特別(bie)適應(ying)當今IC生產(chan)技(ji)術飛速發(fa)展的(de)要(yao)(yao)求，由于隨著產(chan)品(pin)生產(chan)工(gong)藝的(de)發(fa)展潔凈度等級需(xu)求也會不(bu)(bu)斷嚴格(ge)。隧道系(xi)(xi)統(tong)幾(ji)乎談不(bu)(bu)上(shang)靈(ling)(ling)活(huo)性(xing)(xing)，且(qie)(qie)隧道系(xi)(xi)統(tong)是以(yi)操作區(qu)(qu)(qu)作為送風、設(she)備區(qu)(qu)(qu)作為回風的(de)空氣循環系(xi)(xi)統(tong)，但(dan)8”、12”IC廠房無(wu)塵車間日前基本上(shang)都采(cai)用(yong)Ballroom方(fang)式，，f：分操作區(qu)(qu)(qu)和(he)設(she)備區(qu)(qu)(qu)，因此隧道系(xi)(xi)統(tong)也就(jiu)不(bu)(bu)適用(yong)J；集中送風系(xi)(xi)統(tong)有一(yi)定的(de)靈(ling)(ling)活(huo)性(xing)(xing)，但(dan)潔凈系(xi)(xi)統(tong)改造時必(bi)須(xu)停(ting)機、停(ting)產(chan)。如果要(yao)(yao)提高局部(bu)區(qu)(qu)(qu)域的(de)潔凈度，除了(le)無(wu)塵車間頂(ding)部(bu)要(yao)(yao)增加HEPA/ULPA過濾器外，還需(xu)增設(she)循環機組，從(cong)而(er)使改造難(nan)度大，而(er)且(qie)(qie)對生產(chan)有較大影(ying)響；采(cai)用(yong)FFU系(xi)(xi)統(tong)，局部(bu)增加FFU臺數或移(yi)動(dong)FFU位置均很(hen)容易實現，而(er)且(qie)(qie)可(ke)以(yi)在不(bu)(bu)停(ting)產(chan)的(de)情況(kuang)下(xia)進行，對生產(chan)幾(ji)乎沒有影(ying)響。

　　b)調控(kong)性：和集中式送風系統相(xiang)比(bi)，FFU系統各區空(kong)氣交叉(cha)的(de)(de)情況相(xiang)對要(yao)(yao)少，可以實(shi)現較高精度的(de)(de)溫濕度控(kong)制(zhi)。隨著電機(ji)與網絡控(kong)制(zhi)技術的(de)(de)發展(zhan)，FFU很(hen)容(rong)易實(shi)現單臺控(kong)制(zhi)，每臺FFU出風速(su)度在一定(ding)范圍內幾乎可以任意調節，這樣就(jiu)很(hen)容(rong)易解決大(da)跨度無塵車間遠近端(duan)氣流不均勻的(de)(de)問(wen)題。另外FFU還可以根據實(shi)際使(shi)用(yong)需要(yao)(yao)停開或(huo)少開啟(qi)一部分。

　　c)可靠性：采用(yong)集中送(song)風系(xi)統(tong)只(zhi)(zhi)要(yao)一(yi)(yi)臺送(song)風機(ji)(ji)組(zu)出現故障，整(zheng)個系(xi)統(tong)的(de)(de)(de)(de)潔凈度(du)(du)就得(de)(de)(de)不到(dao)保證(zheng)，除非有備用(yong)機(ji)(ji)組(zu)能(neng)立(li)即(ji)投入運行(xing)；對于隧(sui)道系(xi)統(tong)一(yi)(yi)旦某一(yi)(yi)臺循(xun)環(huan)機(ji)(ji)組(zu)停止運行(xing)，該(gai)循(xun)環(huan)機(ji)(ji)組(zu)所負擔的(de)(de)(de)(de)潔凈區域的(de)(de)(de)(de)潔凈度(du)(du)、溫(wen)濕度(du)(du)就無(wu)法(fa)保證(zheng)，生產也(ye)只(zhi)(zhi)好停止；而(er)FFU系(xi)統(tong)這方面(mian)的(de)(de)(de)(de)風險相對要(yao)小(xiao)得(de)(de)(de)多，即(ji)使有一(yi)(yi)臺FFU出現故障，其影響面(mian)很小(xiao)另(ling)外(wai)隨著網絡(luo)監控技術的(de)(de)(de)(de)發展，FFU系(xi)統(tong)因數(shu)量多而(er)造成維護不便的(de)(de)(de)(de)情況也(ye)已得(de)(de)(de)到(dao)改(gai)善(shan)。

　　d)氣(qi)密(mi)性與(yu)空(kong)間利用：FFU系(xi)(xi)統由于風(feng)機(ji)直接設在工作(zuo)(zuo)(zuo)區(qu)上(shang)(shang)方，因此工作(zuo)(zuo)(zuo)區(qu)相(xiang)對(dui)于回風(feng)道(dao)及上(shang)(shang)靜(jing)(jing)壓箱(xiang)為正壓，工作(zuo)(zuo)(zuo)區(qu)以外(wai)污染物極少因泄漏(lou)進入上(shang)(shang)作(zuo)(zuo)(zuo)區(qu)：相(xiang)反的(de)，集(ji)中送(song)風(feng)系(xi)(xi)統和隧道(dao)系(xi)(xi)統工作(zuo)(zuo)(zuo)區(qu)相(xiang)對(dui)于上(shang)(shang)靜(jing)(jing)壓箱(xiang)為較(jiao)大(da)的(de)負壓，因此泄漏(lou)的(de)風(feng)險性比FFU系(xi)(xi)統要高(gao)得(de)多(duo)。另外(wai)采(cai)用集(ji)中送(song)風(feng)系(xi)(xi)統及隧道(dao)系(xi)(xi)統，上(shang)(shang)靜(jing)(jing)壓箱(xiang)與(yu)周圍環境(jing)的(de)壓差很大(da)，極易發生空(kong)氣(qi)泄漏(lou)，因此對(dui)上(shang)(shang)靜(jing)(jing)壓箱(xiang)的(de)氣(qi)密(mi)性要求很高(gao)，基本上(shang)(shang)不允許(xu)管線進人。而(er)FFU系(xi)(xi)統的(de)上(shang)(shang)靜(jing)(jing)壓箱(xiang)相(xiang)對(dui)于周圍環境(jing)只是(shi)微正壓，上(shang)(shang)靜(jing)(jing)壓箱(xiang)內可以布置或穿越諸如排風(feng)和排煙等管道(dao)，使空(kong)間得(de)到合(he)理利用。

　　e)能(neng)耗問題：一(yi)些統(tong)(tong)計(ji)資料(liao)表(biao)明，在(zai)IC廠(chang)房中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，維持(chi)生(sheng)產環(huan)境潔凈度的(de)(de)(de)空氣循環(huan)過(guo)濾系(xi)(xi)統(tong)(tong)是除(chu)工(gong)藝設(she)備(bei)外(wai)的(de)(de)(de)耗能(neng)最大的(de)(de)(de)系(xi)(xi)統(tong)(tong)，所以(yi)采(cai)用何(he)種送(song)風系(xi)(xi)統(tong)(tong)其能(neng)耗也是必須考(kao)慮的(de)(de)(de)因素。大型(xing)軸(zhou)流(liu)風機的(de)(de)(de)全(quan)壓效(xiao)(xiao)率理想上可達80%，電(dian)(dian)機效(xiao)(xiao)率一(yi)般(ban)可達90%，則用電(dian)(dian)效(xiao)(xiao)率是兩(liang)者的(de)(de)(de)乘積72%，如果考(kao)慮消音器對風壓造(zao)成(cheng)的(de)(de)(de)損失(shi)，使風機全(quan)壓效(xiao)(xiao)率降至70%，則用電(dian)(dian)效(xiao)(xiao)率也隨之降到63%（假設(she)電(dian)(dian)機效(xiao)(xiao)率不(bu)變(bian)）；8”、12”IC廠(chang)房無塵車間(jian)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)FFU通常采(cai)用直(zhi)(zhi)流(liu)無刷(shua)(shua)電(dian)(dian)機，效(xiao)(xiao)率也可達到90%[2]，通常用電(dian)(dian)效(xiao)(xiao)率在(zai)50%左(zuo)右(you)。所以(yi)在(zai) 的(de)(de)(de)運行(xing)狀態(tai)下(xia)，大型(xing)軸(zhou)流(liu)風機的(de)(de)(de)單機用電(dian)(dian)效(xiao)(xiao)率高(gao)(gao)于小型(xing)FFU應(ying)(ying)該是沒有什么疑問的(de)(de)(de)。但(dan)實(shi)際工(gong)程(cheng)情(qing)(qing)況又怎樣呢？由于直(zhi)(zhi)流(liu)無刷(shua)(shua)電(dian)(dian)機可以(yi)在(zai)相當大的(de)(de)(de)運行(xing)范圍里保(bao)持(chi)高(gao)(gao)效(xiao)(xiao)率出力，而大型(xing)軸(zhou)流(liu)風機在(zai)變(bian)頻運轉后電(dian)(dian)機效(xiao)(xiao)率會急(ji)劇下(xia)降，但(dan)潔凈系(xi)(xi)統(tong)(tong)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)HEPA/ULPA的(de)(de)(de)阻力是不(bu)斷變(bian)化的(de)(de)(de)，且初、終阻力相差較(jiao)大，所以(yi)在(zai)相當長的(de)(de)(de)時間(jian)內風機是在(zai)非設(she)計(ji)狀態(tai)運行(xing)，從這(zhe)方(fang)面考(kao)慮FFU系(xi)(xi)統(tong)(tong)又會具有一(yi)定優勢。所以(yi)對集中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)送(song)風系(xi)(xi)統(tong)(tong)和FFU系(xi)(xi)統(tong)(tong)的(de)(de)(de)能(neng)源效(xiao)(xiao)率比(bi)較(jiao)，很難做出明確的(de)(de)(de)結(jie)論，應(ying)(ying)視具體工(gong)程(cheng)項目的(de)(de)(de)產品(pin)生(sheng)產情(qing)(qing)況、凈化空調系(xi)(xi)統(tong)(tong)及其設(she)備(bei)配置(zhi)情(qing)(qing)況等確定。

　　2、空氣處理及溫濕度保證

　　8”、12”IC生產由于(yu)其工藝加(jia)工線(xian)寬(kuan)極(ji)小，所以對溫(wen)濕(shi)度的(de)精(jing)度要求很高，通常溫(wen)度精(jing)度為(wei)±0.3～±0.5℃，相對濕(shi)度精(jing)度為(wei)±2%～±3%。該(gai)類廠房無塵車間(jian)一般采(cai)用新風集中處(chu)理加(jia)FFU系統，在下夾層(ceng)或上靜壓(ya)箱內設(she)干表冷器。無塵車間(jian)內的(de)相

　　對濕度由新風機組保(bao)證，溫度由干表冷器保(bao)證。

　　2.1、新風處理及相對濕度保證

　　新(xin)風(feng)處理機(ji)組(zu)(zu)的(de)功能段如圖9所(suo)示，新(xin)風(feng)處理機(ji)組(zu)(zu)中設置初、中、高效(xiao)三級過(guo)(guo)(guo)濾，以去除室外空氣中的(de)灰塵(chen)粒子，設高效(xiao)過(guo)(guo)(guo)濾器(qi)很有(you)必要可以延長無塵(chen)車間頂部FFU內ULPA過(guo)(guo)(guo)濾器(qi)的(de)使用壽命；

　　設置化學過濾器主要是去除室外空氣中對IC生產有影響的雜質氣體，根據工廠所在地的室外空氣品質設置相應的化學過濾器，化學過濾器后通常需設中效過濾器以去除化學過濾器本身的產塵；通過設在新風處理機組內的兩級表冷、兩級加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風處理機組出口的干球溫度及露點溫度全年基本恒定，而機組出口的露點溫度還應根據其對應送風區域內的相對濕度進行連續的重新整定，以保證室內的相對濕度。這里不以房間內的相對濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內的相對濕度連續的重新整定機組出口的露點溫度，再由該露點溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時的濕度控制：由于外網蒸汽中含有對IC生產有影響的雜質，新風處理機組的加濕應采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設在表冷器前，這樣可以使新風處理機組確提高相對濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級純水（一級RO后）代替潔凈蒸汽加濕器，這是一舉兩得的好辦法，因為噴淋純水既可以達到加濕的目的，又可以去除空氣中對IC牛產有影響的雜質氣體。新風處理機組還應保證無塵車間內的正壓，所以新風機組內的風機應配置變頻裝置，以無塵車間內的正壓值控制風機轉速。新風集中處理有諸多優點，但在寒冷地區使用時則特別要注意盤管的防凍問題。另外因8”、12”IC生產對環境的可靠性有極高的要求，新風處理機組必須設一臺備用機組。

　　2.2、循環風處理及(ji)溫度保證(zheng)

　　8”、12”IC廠房(fang)無(wu)塵車間(jian)通常采用FFU系統(tong)（如圖8），室內(nei)空(kong)(kong)氣經(jing)干(gan)表(biao)冷(leng)器(qi)冷(leng)卻(que)處理后(hou)與新(xin)(xin)風(feng)混合(he)(he)，再由設(she)在(zai)房(fang)問頂部的(de)FFU加(jia)壓、過(guo)濾后(hou)送入(ru)房(fang)間(jian)。還有(you)一種(zhong)情況是干(gan)表(biao)冷(leng)器(qi)設(she)在(zai)上夾層，空(kong)(kong)氣處理過(guo)程略(lve)有(you)不同，其過(guo)程為(wei)：新(xin)(xin)風(feng)和(he)回風(feng)混合(he)(he)，再經(jing)千表(biao)冷(leng)器(qi)冷(leng)卻(que)，最后(hou)由FFU加(jia)壓、過(guo)濾后(hou)送人無(wu)塵車間(jian)。干(gan)表(biao)冷(leng)器(qi)主要是消除無(wu)塵車間(jian)內(nei)的(de)顯熱(re)負(fu)荷，根(gen)據無(wu)塵車間(jian)內(nei)的(de)溫度控制對應區域的(de)干(gan)表(biao)冷(leng)器(qi)以保(bao)證房(fang)問的(de)溫度。采用該系統(tong)應注意以下幾點(dian)：

　　a)為(wei)得(de)到精確(que)的(de)(de)溫(wen)濕度控制，應盡量減少(shao)Ballroom內各區(qu)域之(zhi)問(wen)的(de)(de)氣流交叉(cha)，所以各區(qu)域的(de)(de)干表冷器結構(gou)形式(shi)、空氣側阻力應盡量一致(zhi)。

　　b)考(kao)慮室(shi)內(nei)(nei)濕(shi)度(du)精(jing)度(du)及表(biao)(biao)(biao)冷(leng)器(qi)空(kong)氣(qi)側阻力(li)等(deng)因素(su)，應確(que)保干(gan)表(biao)(biao)(biao)冷(leng)器(qi)在干(gan)工況下工作，干(gan)表(biao)(biao)(biao)冷(leng)器(qi)所用的(de)冷(leng)凍水(shui)(shui)溫度(du)應根(gen)據(ju)室(shi)內(nei)(nei)濕(shi)負荷、室(shi)內(nei)(nei)空(kong)氣(qi)的(de)露點溫度(du)等(deng)因素(su)確(que)定，IC廠(chang)房工藝生產設備(bei)發濕(shi)量很少(shao)，考(kao)慮干(gan)表(biao)(biao)(biao)冷(leng)器(qi)所用冷(leng)凍水(shui)(shui)本身的(de)溫度(du)控(kong)(kong)制精(jing)度(du)以及其(qi)他(ta)的(de)安全余量，實際工程(cheng)中一般冷(leng)凍水(shui)(shui)供水(shui)(shui)溫度(du)比(bi)室(shi)內(nei)(nei)空(kong)氣(qi)露點溫度(du)高2～3℃，溫差通(tong)常(chang)取3～5℃，根(gen)據(ju)室(shi)內(nei)(nei)溫度(du)控(kong)(kong)制精(jing)度(du)確(que)定。干(gan)表(biao)(biao)(biao)冷(leng)器(qi)所用的(de)冷(leng)凍水(shui)(shui)通(tong)常(chang)以混水(shui)(shui)方式或換熱方式得到。

　　c)干(gan)表冷器(qi)(qi)斷面風速(su)不宜太(tai)高(gao)，因為過(guo)高(gao)的(de)風速(su)會使干(gan)表冷器(qi)(qi)空(kong)氣側阻力偏大(da)，而由(you)于房間噪聲要求的(de)限制(zhi)FFU所能提供的(de)機外余壓有(you)限，一(yi)般為90Pa，考慮其(qi)他風路(lu)阻力，干(gan)表冷器(qi)(qi)的(de)空(kong)氣側阻力通常(chang)控制(zhi)在(zai)40Pa左右。

　　3、空氣中分子級污染物(AMC)控制

　　隨著lC生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)飛速(su)發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)，其(qi)加(jia)工的(de)(de)特征尺(chi)寸越來(lai)越微細化(hua)，去除(chu)空(kong)氣(qi)中(zhong)的(de)(de)AMC(airbomemolecularcontamination)問題(ti)越來(lai)越受到(dao)人們關注(zhu)， 半導(dao)體制造技術(shu)協會(SEMATECH)及(ji)其(qi)他機構、組織對IC生(sheng)(sheng)產(chan)中(zhong)AMC的(de)(de)危害和允許(xu)濃(nong)度(du)分(fen)別進(jin)行(xing)了(le)分(fen)析預測(ce)(ce)，表(biao)l是(shi)SEMATECH所預測(ce)(ce)的(de)(de) 半導(dao)體發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)進(jin)程及(ji)相應(ying)的(de)(de)AMC的(de)(de)要求。一些研究結果表(biao)明，空(kong)氣(qi)中(zhong)的(de)(de)金屬(shu)離子(Na、K、Fe、Cu、Zn等)會破壞(huai)絕緣層，使p-n結漏電；而氮氧化(hua)物、二氧化(hua)硫(liu)、氨、有機物、臭氧、硼、磷等都(dou)會引起電路缺陷。AMC已直接影響到(dao)產(chan)品的(de)(de)成(cheng)品率和可靠性，所以應(ying)加(jia)以控制。

　　3.1AMC的來源

　　AMC來(lai)(lai)源于(yu)(yu)無(wu)塵(chen)車間(jian)內(nei)(nei)及(ji)室外(wai)空(kong)氣。無(wu)塵(chen)車間(jian)內(nei)(nei)的(de)(de)AMC主(zhu)要來(lai)(lai)源于(yu)(yu)以下(xia)幾個方面：工藝牛產(chan)使用的(de)(de)各種(zhong)化學品(pin)，工藝設(she)備和(he)原材料的(de)(de)氣體(ti)釋放，室內(nei)(nei)操(cao)作(zuo)人員以及(ji)各種(zhong)建筑材料等。室外(wai)空(kong)氣中(zhong)的(de)(de)AMC多少與IC廠(chang)房所在地(di)的(de)(de)空(kong)氣質量有關，且地(di)方差(cha)異性較(jiao)大，通(tong)常越是工廠(chang)集中(zhong)的(de)(de)工業區來(lai)(lai)自(zi)室外(wai)的(de)(de)AMC就越嚴重。

　　3.2AMC的控制

　　減少(shao)無塵車間內的AMC應從以下四個(ge)方面進行控(kong)制：

　　a)控制(zhi)室內產生(sheng)：工(gong)藝(yi)生(sheng)產線本身是(shi)AMC最大的(de)(de)(de)產生(sheng)源(yuan)，因(yin)工(gong)藝(yi)生(sheng)產中(zhong)要使用(yong)各種(zhong)化學品(pin)，這些(xie)化學品(pin)或多或少的(de)(de)(de)要散發到(dao)室內空氣(qi)中(zhong)形成AMC，所以(yi)首(shou)先(xian)應(ying)從(cong)生(sheng)產工(gong)藝(yi)上考慮(lv)盡量(liang)減少化學品(pin)的(de)(de)(de)使用(yong)，另外(wai)應(ying)控制(zhi)工(gong)藝(yi)設備的(de)(de)(de)制(zhi)作材料(liao)、涂(tu)料(liao)的(de)(de)(de)釋放氣(qi)體。無(wu)塵車間的(de)(de)(de)各種(zhong)建(jian)筑(zhu)材料(liao)也是(shi)AMC的(de)(de)(de)一(yi)大來源(yuan)，建(jian)筑(zhu)材料(liao)引起的(de)(de)(de)AMC涉及(ji)面(mian)較廣(guang)，目(mu)前通常(chang)采(cai)取以(yi)下措(cuo)施：盡量(liang)采(cai)用(yong)AMC釋放低(di)的(de)(de)(de)建(jian)筑(zhu)裝修材料(liao)、涂(tu)料(liao)及(ji)密封材料(liao)，目(mu)前常(chang)用(yong)的(de)(de)(de)建(jian)材中(zhong)聚(ju)四氟(fu)乙(yi)烯、玻璃、不銹鋼、鋁合金(jin)、表(biao)面(mian)經烤漆處理的(de)(de)(de)金(jin)屬材料(liao)、高彈性聚(ju)氨脂涂(tu)料(liao)、環(huan)氧(yang)瓷(ci)漆等(deng)是(shi)可以(yi)接(jie)受的(de)(de)(de)，而(er)環(huan)氧(yang)樹(shu)脂涂(tu)料(liao)、硅

　　密封(feng)(feng)膠(jiao)、單/雙(shuang)面密封(feng)(feng)膠(jiao)帶、阻燃(ran)劑已不(bu)(bu)適用(yong)了；改進(jin)建筑材(cai)料(liao)加(jia)工工藝，提高加(jia)工精度，工程中(zhong)盡(jin)量不(bu)(bu)用(yong)密封(feng)(feng)膠(jiao)；潔(jie)凈系統(tong)中(zhong)的HEPA/ULPA過濾器(qi)應采用(yong)聚(ju)(ju)四氟(fu)乙烯(PTFE)或低硼(peng)低有機物的玻(bo)璃(li)纖(xian)維(wei)制(zhi)作，另(ling)外目(mu)前常用(yong)的DOP測試方法以(yi)及鈉焰(yan)測試也是不(bu)(bu)能接(jie)受的，SEMATECH推薦(jian)采用(yong)以(yi)去(qu)離(li)子水(shui)霧攜帶的固態(tai)聚(ju)(ju)苯乙烯(polystyrenelatex，PSL)小(xiao)球作為測試粒(li)子；系統(tong)中(zhong)的吸音(yin)材(cai)料(liao)盡(jin)量不(bu)(bu)用(yong)玻(bo)璃(li)纖(xian)維(wei)，可以(yi)用(yong)發泡金屬等材(cai)料(liao)代替(ti)；上靜(jing)壓箱用(yong)無(wu)密封(feng)(feng)的烤漆板(ban)制(zhi)作；制(zhi)作風管(guan)的材(cai)料(liao)必須脫脂，密封(feng)(feng)墊用(yong)丁基橡膠(jiao)：無(wu)塵車間(jian)空間(jian)內的電纜也應采用(yong)AMC釋放低的材(cai)料(liao)制(zhi)作。

　　b)控制室外侵(qin)入(ru)：首先無塵(chen)車間空(kong)間等應密閉，使周圍環境(jing)的AMC不滲入(ru)無塵(chen)車間；其次應防止室外空(kong)氣中(zhong)的AMC進(jin)入(ru)無塵(chen)車間內(nei)，為此有兩個方面需要(yao)考慮，第一是新風人(ren)口(kou)(kou)應合(he)理(li)(li)，盡量遠離排風口(kou)(kou)及其他(ta)污染源，另(ling)外建廠地(di)點應合(he)理(li)(li)。第二是IC廠所(suo)在(zai)地(di)的室外空(kong)氣中(zhong)如含有對生產工藝(yi)敏(min)感的AMC，則在(zai)室外空(kong)氣送入(ru)無塵(chen)車間前應進(jin)行可靠的處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)，根(gen)據室外空(kong)氣中(zhong)AMC的種類、濃(nong)度以及工藝(yi)要(yao)求在(zai)新風處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)機(ji)組中(zhong)設(she)置(zhi)相(xiang)應的化學過濾器，也可以在(zai)新風處(chu)(chu)(chu)理(li)(li)機(ji)組中(zhong)設(she)淋洗(xi)裝置(zhi)加以去除。

　　c)控制(zhi)擴(kuo)散：對于生產中必須(xu)要使用化學品(pin)的工藝設備(bei)應盡量采取密閉措施，并設置可靠(kao)的排(pai)風，以減(jian)少(shao)化學品(pin)的散發。另外(wai)合理(li)的氣流組織(zhi)對防止擴(kuo)散也很重(zhong)要，潔凈(jing)系統設計時應充(chong)分考(kao)慮減(jian)少(shao)各區域(yu)的氣流交(jiao)叉。

　　d)化學(xue)過(guo)濾：采取了以(yi)上(shang)措(cuo)施雖然可以(yi)降低無塵車間內的(de)(de)AMC濃度，但不可能完全杜(du)絕AMC的(de)(de)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)，而(er)有些生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)工序對(dui)(dui)AMC又比較(jiao)敏感，雖然潔凈系統中裝有HEPA/ULPA過(guo)濾器(qi)，該(gai)過(guo)濾器(qi)對(dui)(dui)于過(guo)濾灰(hui)塵粒子有效果，但對(dui)(dui)于AMC幾乎不起作(zuo)用，所以(yi)有些生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)區(qu)域還應設(she)置(zhi)化學(xue)過(guo)濾器(qi)，以(yi)去(qu)除無塵車間內的(de)(de)AMC。通常做法是(shi)在FFU的(de)(de)HFPA/ULPA過(guo)濾器(qi)與風機之間增設(she)化學(xue)過(guo)濾器(qi)，針對(dui)(dui)區(qu)域一般是(shi)勻(yun)膠(jiao)、顯影區(qu)以(yi)及CVD區(qu)。

　　4、無塵車間排(pai)煙問(wen)題

　　“潔(jie)(jie)凈廠(chang)房(fang)設計規范”(GB50073_200l)[3]對潔(jie)(jie)凈廠(chang)房(fang)疏散走廊明(ming)確提出了機械(xie)(xie)排(pai)煙要求，但塒(shi)于(yu)無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間沒有(you)明(ming)確規定一定要設機械(xie)(xie)排(pai)煙，實際工程中各(ge)地(di)消防部門對于(yu)IC廠(chang)房(fang)無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間是(shi)否設排(pai)煙的(de)(de)問(wen)題上要求也不一致(zhi)；但8”、12”IC生產企業的(de)(de)業主通常(chang)會(hui)將整(zheng)個廠(chang)房(fang)進行(xing)投保，由(you)于(yu)IC生產中要使(shi)用多種易燃的(de)(de)氣體和液體，保險(xian)商一般均要求無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間設置機械(xie)(xie)排(pai)煙措施，否則增(zeng)加保費。所以在(zai)8”、12”IC工程中，無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間機械(xie)(xie)排(pai)煙經(jing)常(chang)是(shi)不可回(hui)避的(de)(de)問(wen)題。IC廠(chang)房(fang)無(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)間國(guo)內外目前常(chang)用的(de)(de)排(pai)煙方式(shi)有(you)兩種：即(ji)下排(pai)煙和上排(pai)煙。

　　4.1下排煙方式(shi)

　　下排(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)一(yi)般是(shi)在(zai)無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)回風(feng)下夾層或回風(feng)豎井內設置排(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)口(kou)，當(dang)無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)或無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)下夾層發(fa)生(sheng)火(huo)(huo)災時，則打開排(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)口(kou)，開啟排(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)風(feng)機進(jin)行排(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)，此時新風(feng)機組繼續運行，往無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)上(shang)夾層內補充新風(feng)，并通(tong)過必(bi)要(yao)的(de)(de)(de)閥門切換(huan)使上(shang)夾層與無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)和下夾層隔(ge)開，上(shang)夾層內新風(feng)由FFU送入室內。采(cai)用(yong)下排(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)必(bi)須有(you)以下條(tiao)件，即(ji)無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)發(fa)生(sheng)火(huo)(huo)災時，無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)頂部FFU下吹的(de)(de)(de)斷面(mian)風(feng)速(su)(su)必(bi)須大(da)于煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)氣上(shang)升(sheng)的(de)(de)(de)速(su)(su)度(du)，否(fou)則煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)氣會在(zai)無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)頂部積聚。通(tong)常(chang)FFU下吹速(su)(su)度(du)為0.25～0.5m/s．而火(huo)(huo)災的(de)(de)(de)熱釋放率只(zhi)要(yao)大(da)于3kW，煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)氣的(de)(de)(de)上(shang)升(sheng)速(su)(su)度(du)就(jiu)會大(da)于0.5m/S[4]，所(suo)以下排(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)方式只(zhi)是(shi)在(zai)無(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)發(fa)生(sheng)小火(huo)(huo)災時有(you)效。下排(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)方式最近幾年(nian)在(zai)國外的(de)(de)(de)一(yi)些IC廠(chang)房中得到(dao)應用(yong)，但(dan)國內工程(cheng)中用(yong)得較少。

　　4.2上排煙方(fang)式

　　上(shang)排(pai)(pai)(pai)煙(yan)是在無(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)車間吊(diao)頂上(shang)設置(zhi)排(pai)(pai)(pai)煙(yan)口(kou)(kou)(kou)，通(tong)過排(pai)(pai)(pai)煙(yan)風(feng)管將各排(pai)(pai)(pai)煙(yan)口(kou)(kou)(kou)連接至(zhi)排(pai)(pai)(pai)煙(yan)風(feng)機(ji)，當無(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)車間發生火災時，打開(kai)排(pai)(pai)(pai)煙(yan)口(kou)(kou)(kou)，開(kai)啟排(pai)(pai)(pai)煙(yan)風(feng)機(ji)進行排(pai)(pai)(pai)煙(yan)，排(pai)(pai)(pai)煙(yan)時新(xin)風(feng)機(ji)組繼(ji)續運(yun)行，向(xiang)回風(feng)豎井內補風(feng)．上(shang)排(pai)(pai)(pai)煙(yan)方式無(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)車間內煙(yan)氣上(shang)升氣流(liu)和(he)排(pai)(pai)(pai)煙(yan)氣流(liu)方向(xiang)一(yi)致(zhi)，排(pai)(pai)(pai)煙(yan)效果(guo)比較(jiao)理想，目前在工程中(zhong)得到廣泛的(de)應用。但(dan)采用上(shang)排(pai)(pai)(pai)煙(yan)方式實際工程中(zhong)通(tong)常會出現以下兩個(ge)問(wen)題(ti)，第一(yi)個(ge)問(wen)題(ti)是排(pai)(pai)(pai)煙(yan)口(kou)(kou)(kou)的(de)布置(zhi)，在非(fei)單向(xiang)流(liu)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)車間中(zhong)比較(jiao)好解決，由于(yu)頂部的(de)FFU沒(mei)有滿(man)布，只需在盲(mang)板處設排(pai)(pai)(pai)煙(yan)口(kou)(kou)(kou)即(ji)可；而單向(xiang)流(liu)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)車間由于(yu)頂部滿(man)布FFU，且IC廠房的(de)無(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)車間跨度都很大，只在側面布置(zhi)排(pai)(pai)(pai)煙(yan)口(kou)(kou)(kou)又

　　不能滿(man)足要求(qiu)，所以(yi)不可避免會出現的要在滿(man)布(bu)FFU的無塵(chen)車間吊頂上設置排煙(yan)口(kou)，據了解目(mu)前已有一(yi)些制造公司開發出FFU和(he)排煙(yan)口(kou)結(jie)合在一(yi)起的產(chan)(chan)品，使(shi)這問(wen)題(ti)得以(yi)解決(jue)。第二個問(wen)題(ti)是排煙(yan)分區(qu)問(wen)題(ti)，目(mu)前8”、12”lC生產(chan)(chan)廠房無塵(chen)車間基本上

　　都采用Ballroom方式，潔凈面積達l萬(wan)多平方米的(de)(de)無(wu)塵車間幾乎(hu)沒有分隔，而(er)工(gong)藝(yi)生產(chan)又都采用自動物料處(chu)理(li)系(xi)(xi)統(AMHS)，各生產(chan)區(qu)域(yu)頂部都設有縱橫(heng)交(jiao)錯的(de)(de)吊(diao)掛傳輸(shu)系(xi)(xi)統(OHT)，劃分排(pai)(pai)煙分區(qu)確實比較困難，實際工(gong)程中經(jing)常(chang)將整(zheng)個(ge)Ballroom視為一個(ge)區(qu)，這又會面臨(lin)排(pai)(pai)煙量極(ji)大的(de)(de)問題，為減少(shao)排(pai)(pai)煙系(xi)(xi)統風量，在某些工(gong)程中將工(gong)藝(yi)設備局部排(pai)(pai)風系(xi)(xi)統兼作排(pai)(pai)煙，但排(pai)(pai)風系(xi)(xi)統的(de)(de)管道(dao)、配件及設備應滿足排(pai)(pai)煙要求。

　　5、結語

　　目前(qian)8”、12”IC產(chan)(chan)業住中國(guo)大陸的(de)(de)(de)發展只是剛(gang)剛(gang)起步，由于該(gai)產(chan)(chan)業符合新(xin)型工業化的(de)(de)(de)要求，LE得到(dao)國(guo)家和地(di)J政(zheng)府的(de)(de)(de)大力支持，預計住未(wei)來的(de)(de)(de)幾年內將會得到(dao)快速的(de)(de)(de)發展，而8”、12”IC生產(chan)(chan)對(dui)無塵(chen)車(che)間空氣潔凈度等各項指標(biao)有極嚴格的(de)(de)(de)要求，無塵(chen)車(che)間又是能耗(hao)大戶，所以設(she)計該(gai)類廠房無塵(chen)車(che)間時應(ying)進行(xing)(xing)多(duo)方案(an)比較(jiao)，在滿足工藝生產(chan)(chan)要求的(de)(de)(de)前(qian)提下，綜合考慮可(ke)靠性、靈活性、安(an)全性、能源效率、初(chu)投資等因(yin)素進行(xing)(xing)設(she)計。

　　參考文獻

　　l高砂熱學公司(si)有關資料

　　2曹(cao)芳海，鄭名山等風機一濾網機蛆(qu)技術與無(wu)塵室氣流過濾循環節能探討(tao)CRA.2001.No.5

　　3國家標準．《潔凈廠房設計規范>.GB50073-2001

　　4黃雅(ya)慧.無塵車間火災煙流控制技求介紹．2000.03.30

　　5陳霖新等編著.潔凈廠(chang)房設計與(yu)施工．化工出版社，2002

　　6W.WHYTF.CleanroomDesign.SecondEdition.JohnWitey＆SonsLtd.1999